熱真空環(huán)境模擬試驗設(shè)備真空系統(tǒng)包含渦輪分子泵和干泵

　　熱真空環(huán)境模擬試驗設(shè)備用于極真空及可控均勻的加熱和冷卻循環(huán)套件下測試器件或樣品。該系統(tǒng)具有計算機控制、安全連鎖，以及多級密碼授權(quán)訪問保護的功能。它可以用于超過24小時的圈子全自動熱、冷循環(huán)情況下測試器件/樣品，溫度條件通過程序定義。該系統(tǒng)通常的應(yīng)用之一是太空模擬。系統(tǒng)腔體的大致尺寸為：直徑24"，長度43"。帶有一個16"x32"的滑動加熱平，可以冷卻到零下100攝氏度。熱真空平臺也可以加熱到150攝氏度，具有高度的均勻度。在去邊3cm后整個平臺的溫度均勻度可達/-1攝氏度。加熱平臺安裝在滾軸上，可以方便拉出至大到75%的長度，腔體提供20個RF連接頭，尺寸為2.92mm，可以支持高達40GHz的頻率。腔體的兩側(cè)分別有一個50針的引線。真空系統(tǒng)包含HiPace1200（1000L/s抽速）渦輪分子泵以及一個ISP500干泵，系統(tǒng)的極限真空可達7x10-8Torr，20分鐘內(nèi)可達到10-6Torr級別。

　　熱真空環(huán)境模擬試驗設(shè)備的特點：

　　1.滑動式加熱平臺的面積為16”x32”，可冷卻到-1000C

　　2.熱平臺可加熱到1500C，去邊3cm后平臺的熱均勻度可達±10C

　　3.熱平臺安裝在滾動軸上，可以拉出總長度的75%，便于器件/樣片放置取出

　　4.腔體提供20個RF連接器，尺寸為2.92mm，可以支持到40GHz的頻率

　　5.提供2個50pin的DC直流引線，分別位于腔體的兩端

　　6.真空系統(tǒng)包含渦輪分子泵和干泵

　　7.極限真空7x10-8Torr，20分鐘以內(nèi)可以達到10-6Torr級別