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    NIE-3500(M)IBE離子束刻蝕

    NIE-3500(M)IBE離子束刻蝕:是一款手動(dòng)放片/取片,但工藝過程為全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。

    • 產(chǎn)品型號(hào):
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間:2023-11-13
    • 訪  問  量:1683
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    產(chǎn)品詳情

    IBE離子束刻蝕

    NIE-3500(M)IBE離子束刻蝕產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)勢(shì)。所有核心組件均為。

    NIE-3500(M)IBE離子束刻蝕產(chǎn)品特點(diǎn):

    • 低成本
    • 離子束:高達(dá)2KV/10mA
    • 離子電流密度100-360uA/cm2
    • 離子束直徑:4",5",6"
    • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
    • 極限真空5x10-7Torr
    • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵
    • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
    • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)
    • 自動(dòng)上下載片(NIE-3500)
    • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
    • 占地面積30"x30"

    產(chǎn)品應(yīng)用:

    • 表面清洗
    • 表面處理
    • 離子銑
    • 帶活性氣體的離子束刻蝕
    • 光柵刻蝕
    • SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕

     

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